1. 開發半導體廠房能耗分析軟體，針對合作企業之廠房進行運轉數據蒐集及分析。根據分析結果，提出利用回收無塵室之廢熱供給潔淨室外氣空調箱進行再熱，約可節省4%~14% 外氣空調箱系統能耗(視各廠房特性)。
2. 專利技術移轉：
   • 具有大面積量測能力的氣流場可視化設備技術。
   • 應用在晶圓傳送盒濕度控制之層流空氣簾(Laminar Air curtain)。

半導體廠能耗改善方案分析

專利技術移轉